Der Reflectcontrol-Sensor von von Micro-Epsilon führt 3D-Oberflächeninspektionen von spiegelnden und glänzenden Oberflächen aus. Die präzise Erkennung von Abweichungen ermöglicht die Einhaltung höchster Qualitätsansprüche. Ebenheitsabweichungen im Bereich weniger Mikrometer werden zuverlässig erfasst. Die Überwachung kann stationär in der Fertigungslinie sowie roboterbasiert erfolgen.
Der Sensor generiert ein Streifenmuster, das über die Oberfläche des Messobjekts in die Kamera des Sensors gespiegelt wird. Verzerrungen im Streifenmuster bedeuten Abweichungen auf der Oberfläche. Diese werden softwarebasiert ausgewertet.
Der 3D-Sensor erkennt prozesssicher minimale Ebenheitsabweichungen 1 µm. Eingesetzt wird der Sensor beispielsweise zur 3D-Formerfassung von Wafern in der Halbleiterproduktion und der Qualitätsprüfung von Flachglas, etwa in der Smartphone-Produktion. (ks)
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