Licht wird in der Sensorik vielseitig genutzt. Rotes Laserlicht zählt hier zu den bekanntesten Lichtquellen und wird beispielsweise in Tastern, Lichtschranken und Sensoren genutzt. Zahlreiche Applikationen lassen sich dadurch präzise lösen. Der Sensorhersteller Micro-Epsilon setzt bei konfokal-chromatischen Sensoren wie auch bei den Interferometern auf die Weißlicht-Technologie, die das sichtbare weiße Licht sowie den Infrarotbereich umfasst. Bis in den Subnanometerbereich erfolgen stabile Abstands- und Dickenmessungen unter anderem auf Glas, Folien oder in der Halbleiterindustrie. Doch auch wenn beide Sensortypen mit der Weißlicht-Technologie arbeiten, so unterscheiden sich die beiden Messverfahren dennoch deutlich. Gleichzeitig ergänzen sie sich aber auch hervorragend und bilden ein leistungsfähiges Portfolio, das eine breite Anwendungsvielfalt und eine hohe Genauigkeit bietet.
Konfokal-chromatische Sensoren liefern mikrometergenaue Ergebnisse, überwiegend bei der Automatisierungs- und Fertigungsüberwachung in dynamischen, industriellen Inlineanwendungen. Die Interferometer von Micro-Epsilon sind in der Regel in solchen Anwendungen im Einsatz, die Nanometerpräzision in Verbindung mit hoher Signalstabilität einfordern wie in der Halbleiterindustrie oder der Präzisionsglasproduktion. Im Vergleich lassen sich die konfokal-chromatischen Systeme durchaus als die flexiblere Lösung bezeichnen, jedenfalls was die Anzahl der verschiedenen Sensoren und somit die Anwendungsvielfalt betrifft. Sie können entweder die Dicke von transparenten Objekten oder Abstände auf zahlreichen Oberflächen messen. Gekrümmte und insbesondere strukturierte Oberflächen werden mit konfokal-chromatischen Sensoren zuverlässig erfasst, denn diese Sensoren der Reihe confocalDT bieten einen Verkippungswinkel bis zu 48°. Daher sind auch Rundungen und Profile mit dem konfokalen System zuverlässig messbar. Auch beim Grundabstand und den Messbereichen ist das konfokal-chromatische System sehr flexibel. Das Interferometer hingegen eignet sich mit einem Messwinkel von 2° bestens für ebene Oberflächen wie sie bei Wafern vorhanden sind. Der Messbereich wird vom Controller vorgegeben und kann daher nicht so flexibel wie beim konfokal-chromatischen Messsystem geändert werden.
Uneingeschränkter Spitzenreiter in Sachen Genauigkeit ist allerdings das interferoMeter. Es ist das präziseste optische System im Portfolio von Micro-Epsilon. Auflösungen bis zu 30 pm können damit erreicht werden. Die Grenze des konfokalen Systems liegt bei 3 nm. Über analoge und digitale Schnittstellen wie Ethernet und Ethercat ist eine einfache Anbindung der beiden Sensorsysteme möglich. Eine Besonderheit ist die Konfiguration, die über ein benutzerfreundliches Webinterface erfolgt. Ohne Softwareinstallation erfolgt die Inbetriebnahme und Parametrierung auf einer verständlichen Benutzeroberfläche. Beide Systeme liefern mit ihren Vorteilen ein nahtlos ineinander übergehendes Produktportfolio für alle hochgenauen Anwendungen in Industrie, Forschung und Entwicklung, mit präzisen Ergebnissen bis in den Subnanometerbereich.
